作为晶圆代工职业中最重要的产品,光刻机的优异与否将决议制程工艺的先进性,而现在在EUV范畴,毫无疑问ASML成为了肯定的巨子,简直垄断了EUV光刻机的出产与研制。广阔晶圆代工巨子也等待着ASML推出的新一代光刻机来进步个人的代工实力。现在ASML表明自家现在最先进的光刻机TWINSCAN EXE:5200行将交给给客户,从而为2nm等更先进的工艺供给前有力的硬件确保。
ASML现在现已承认将会在不久之后正式交给新一代的EUV光刻机也便是TWINSCAN EXE:5200,这款光刻机是TWINSCAN EXE:5000的强化版,ASML表明全新的TWINSCAN EXE:5200光刻机最高能轻松完成每小时185片晶圆的制作,为往后2nm等制程供给坚实的硬件根底。
ASML称现在的之前光刻机的孔径透镜精度为0.33,而到了TWINSCAN EXE:5200以及TWINSCAN EXE:5000,孔径透镜精度到达了0.55,相比较上一代产品有着极为显着的提高,不过因为技能的提高,每一台光刻机的价格也是到达了适当惊人的程度,据悉TWINSCAN EXE:5000的单价可以到达3.5亿欧元,适当于26.3亿人民币,而TWINSCAN EXE:5200的报价明显更高。
现在英特尔现已宣告将会成为首位选用TWINSCAN EXE:5200光刻机的客户,用于新一代制程晶圆的制作,便是不知道在运用先进光刻机之后,英特尔晶圆代工能否打个翻身仗。
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