打破性激光技能或将重塑EUV光刻体系,光刻机板块掀起涨停潮,半导体产业链迎来新机会。
今天,光刻机(胶)板块体现活泼。截止至发稿,百傲化学、茂莱光学涨超7%,永新光学、科玛科技、晶方科技、波长电光、张江高科跟涨。
音讯面上,美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室正在开发一种新式拍瓦级大孔径铥激光器,有望将极紫外光刻光源功率前进约10倍。这种BAT激光器运用掺铥元素的氟化钇锂作为增益介质,能添加激光束的功率和强度。与现有的二氧化碳激光器比较,BAT激光器有望完成更高的等离子体到EUV转化功率,并供给更好的全体电气功率和热办理。这项技能打破或将重塑现有EUV光刻体系,为出产更小、更强壮的芯片奠定根底。
光刻机设备制作板块:新式BAT激光器的呈现或许会推进光刻机设备制作商进行技能晋级,相关企业或将取得新的开展机会。国内光刻机设备制作商或许加大研制投入,以缩小与世界抢先水平的距离。
半导体芯片制作板块:更高效的光刻技能有助于提高芯片制作工艺水平,推进先进制程芯片的量产。芯片制作企业有望借此提高产品功能,增强商场竞争力。
激光器及光学元件板块:新式BAT激光器的研制成功或许带动相关激光器及光学元件技能的前进。国内激光器及光学元件出产企业或将获益于职业技能晋级,迎来新的商场机会。
半导体资料板块:新式光刻技能的使用或许对半导体资料提出更高要求,推进相关企业加大研制力度,开发适配新工艺的高功能资料。
中微公司(688012):国内抢先的半导体设备制作商,在光刻机核心部件等范畴具有技能优势。
上海微电子(688701):专心于光刻机及相关核心部件的研制与制作,是国内重要的光刻机企业。
晶盛机电(300316):主要是做半导体设备及资料的研制与出产,在光刻机相关范畴有布局。
华峰测控(688200):专心于半导体测验设备的研制与出产,或许获益于先进制程芯片的开展。
中科曙光(603019):在高功能核算范畴具有优势,或许从先进芯片制作中获益。
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